CGA580特種氪氣減壓器應(yīng)用案例

特氣減壓閥，也叫特氣減壓器，Special gas reducing valve，就是將特氣鋼瓶中的高壓氣體減為實(shí)驗(yàn)及工況所需的低壓氣體壓力的減壓閥。采用活塞式減壓結(jié)構(gòu)，輸出壓力穩(wěn)定，主要用于石油化工、化纖、照明電器、熱處理、冶金、玻璃、食品、醫(yī)藥、電子、國(guó)防航天、航空等主導(dǎo)領(lǐng)域的特氣鋼瓶的出口減壓。特種氣體，氣體工業(yè)名詞，是指那些在特定L域中應(yīng)用的，對(duì)氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。門類繁多，通�？蓞^(qū)分為電子氣體，標(biāo)準(zhǔn)氣，環(huán)保氣，醫(yī)用氣，焊接氣，殺菌氣等，廣泛用于電子，電力，石油化工，采礦，鋼鐵，有色金屬冶煉，熱力工程，生化，環(huán)境監(jiān)測(cè)，醫(yī)學(xué)研究及診斷，食品保鮮等L域。特種氣體用途及應(yīng)用行業(yè)介紹如下。 特種氣體有哪些？ 

氣體本身化學(xué)成分可分為：硅系、砷系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。 特種氣體其中主要有：甲烷、乙烯、正戊烷、正丁烯、正丁烷、異戊烷、異丁烯、異丁烷、乙烷、一氧化碳、一氧化氮、一甲胺、一氟甲等。單一氣體有259種，其中電子氣體115種，有機(jī)氣體63種，無機(jī)氣體35種，鹵碳素氣體29種，同位素氣體17種。來自格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán)

氖氣約占全球70%，在半導(dǎo)體制程當(dāng)中，氖氣可用于KrF鐳射以曝光；除了氖氣，烏克蘭也供應(yīng)全球約40%氪氣，氪氣同樣用于KrF鐳射，兩者皆與曝光制程密切相關(guān)。此外，烏克蘭亦生產(chǎn)氙氣，供應(yīng)量約占全球30%，用于半導(dǎo)體蝕刻制程。

由在氖氣、氪氣、氙氣市場(chǎng)供應(yīng)量巨大，，電子特氣限制出口。很可能導(dǎo)致氖氣、氪氣、氙氣供應(yīng)的短缺，即便市場(chǎng)迅速尋求新氣體供應(yīng)商或擴(kuò)大氣體產(chǎn)能，也需要數(shù)月甚至半年以上產(chǎn)品認(rèn)證時(shí)間，使半導(dǎo)體制程的電子特氣供應(yīng)陷入緊缺。特氣一般都是貯存在專用的高壓氣體鋼瓶中，使用時(shí)通過減壓閥使氣體壓力降至實(shí)驗(yàn)所需范圍，再經(jīng)過其它控制閥門細(xì)調(diào)，使氣體輸入使用系統(tǒng)。由于特氣氣瓶?jī)?nèi)壓力較高，而氣焊和氣割和使用點(diǎn)所需的壓力卻較小，所以需要用減壓器來把特氣儲(chǔ)存在氣瓶?jī)?nèi)的較高壓力的氣體降為低壓氣體，并應(yīng)保證特氣所需的工作壓力自始至終保持穩(wěn)定狀態(tài)。進(jìn)口特氣減壓器是將高壓特氣降為低壓氣體、并保持輸出特氣的壓力和流量穩(wěn)定不變的調(diào)節(jié)裝置。

CGA580特種氪氣減壓器應(yīng)用案例

二、CGA580特種氪氣減壓器應(yīng)用案例產(chǎn)品參數(shù)特征：

1、材質(zhì)：

　　









2、適用范圍：

半導(dǎo)體制程，實(shí)驗(yàn)室，氣相分析，測(cè)試儀表，石油化學(xué)工業(yè)，電廠設(shè)備

3、壓力特性參數(shù)：

三、CGA580特種氪氣減壓器應(yīng)用案例安裝說明

1、用下扳將減壓器進(jìn)出氣接頭螺紋與氣瓶閥螺紋或高低壓側(cè)管路可靠的連接，一防止氣體泄漏。請(qǐng)勿轉(zhuǎn)動(dòng)減壓器本體，應(yīng)夾持本體，轉(zhuǎn)動(dòng)螺母擰緊。

2、在安裝過程中，應(yīng)確保減壓器進(jìn)、出氣接頭與減壓器連接處不會(huì)發(fā)生松動(dòng)，否則將會(huì)導(dǎo)致氣體泄漏，造成安全重大隱患。

3、清除氣瓶和管路系統(tǒng)與減壓器連接位置處的油污、水及灰塵，一旦雜質(zhì)進(jìn)入氣體減壓器內(nèi)，將會(huì)導(dǎo)致污染氣體，阻塞氣體通道或產(chǎn)生其他麻煩。

4、如果管路上的螺紋變形，無法與氣體減壓器順利地裝上時(shí)，就不要強(qiáng)行連接，否則會(huì)導(dǎo)致管路系統(tǒng)及氣體減壓器上的螺紋損壞，從而引起嚴(yán)重事故。

四、CGA580特種氪氣減壓器應(yīng)用案例操作說明

1、在氣體進(jìn)入減壓器之前，須確認(rèn)已對(duì)管路系統(tǒng)（含減壓器）按要求進(jìn)行吹掃或進(jìn)行抽真空處理。

2、在氣體進(jìn)入減壓器之前，須確認(rèn)減壓器調(diào)壓把手處于旋松狀態(tài)（逆時(shí)針旋松調(diào)壓把手），否則供氣初期的瞬時(shí)壓力有可能損壞膜片，從而導(dǎo)致減壓器失效，嚴(yán)重時(shí)會(huì)危及人身安全。

3、緩慢打開減壓器入口側(cè)的供氣閥門，用肥皂水火專用檢測(cè)儀對(duì)減壓器各連接處進(jìn)行檢漏。

  ▲ 注意：打開供氣閥門時(shí)，人體不得正對(duì)或背對(duì)減壓器。

4、順時(shí)針旋轉(zhuǎn)減壓器調(diào)壓把手，將壓力（或流量）調(diào)到所需要的刻度指示位置，并用肥皂水或?qū)Ｓ脵z測(cè)儀對(duì)減壓器各連接處進(jìn)行檢漏。

▲ 注意：在減壓器供氣過程中，如果發(fā)現(xiàn)有任何異常的機(jī)械振動(dòng)、噪音、卡住或壓力異常升高的現(xiàn)象，表明減壓器已存在故障，應(yīng)立即停止使用。